[发明专利]RF感测装置和包括RF感测装置的等离子体处理室在审
| 申请号： | 201910534236.6 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110867361A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 金永焘;林成龙;姜璨秀;权度勋;金敏周;南象基;梁正模;皮宗勋;韩奎熙 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 杨姗 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种被配置用于等离子体处理室的RF感测装置包括穿透单元，沿向上/向下方向开口；主返回路径单元，围绕穿透单元的全部或一部分；以及辅返回路径单元，位于穿透单元与主返回路径单元之间，与主返回路径单元间隔开，并围绕穿透单元的全部或一部分。主返回路径单元和辅返回路径单元包括电流沿向上/向下方向中的一个方向流过的路径。 | ||
| 搜索关键词： | rf 装置 包括 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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