[发明专利]扫描电镜样品的定位装置有效
| 申请号： | 201910534793.8 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110197783B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 原园;杨继进 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张晓霞;刘芳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描电镜样品的定位装置，包括：T形台和与T形台配合插接的样品架，T形台包括平面支撑件和第一柱体，平面支撑件的上表面为多边形，第一柱体的顶端与平面支撑件底部连接，第一柱体用于支撑平面支撑件，平面支撑件的上表面用于放置样品；样品架的上表面设置有多个多边形凹槽，用于插接平面支撑件，每个凹槽中心设置有与第一柱体匹配的第一柱孔，第一柱孔用于插接T形台的第一柱体，平面支撑件被包含于凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数。本发明提供的扫描电镜样品的定位装置，可以对放置有样品的T形台进行恢复定位，以实现对同一视域重复观测。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 样品 定位 装置 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电镜样品的定位装置，其特征在于，包括：T形台和与所述T形台配合插接的样品架，其中，所述T形台包括平面支撑件和第一柱体，所述平面支撑件的上表面为多边形，所述第一柱体的顶端与所述平面支撑件底部连接，所述第一柱体用于支撑所述平面支撑件，所述平面支撑件的上表面用于放置样品；所述样品架的上表面设置有多个凹槽，所述凹槽为多边形，用于插接所述平面支撑件，所述多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与所述第一柱体匹配的第一柱孔，所述第一柱孔用于插接所述T形台的第一柱体，所述T形台的平面支撑件位于所述凹槽内，其中，所述平面支撑件被包含于所述凹槽中，且所述平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且所述平面支撑件的顶点数小于或等于所述凹槽的顶点数。
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