[发明专利]一种倒装发光二极管及其制造方法在审
| 申请号： | 201910535183.X | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110212062A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 吴永军;刘亚柱;唐军;齐胜利 | 申请（专利权）人： | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/14;H01L33/36;H01L33/46 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种倒装发光二极管及其制造方法，包括：提供一衬底；形成外延结构于所述衬底上；形成图案化电流阻挡层于所述外延结构上；形成电流扩展层于所述外延结构上，并移除部分所述电流扩展层及外延结构，以暴露所述第二半导体层；移除部分所述电流扩展层及外延结构，形成隔离槽，以暴露所述衬底；形成图案化反射层于所述电流扩展层上；形成第一电极及第二电极于所述图案化反射层上，所述第一电极连接所述电流扩展层，所述第二电极连接暴露的所述第二半导体层；形成图案化钝化层于所述第一电极及第二电极上；形成第一焊盘电极及第二焊盘电极于所述图案化钝化层上，所述第一焊盘电极连接所述第一电极，所述第二焊盘电极连接所述第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 电流扩展层 外延结构 第二电极 第一电极 焊盘电极 衬底 倒装发光二极管 图案化钝化层 图案化反射层 半导体层 移除 暴露 电流阻挡层 隔离槽 图案化 制造 | ||
【主权项】：
1.一种倒装发光二极管的制造方法，其特征在于，包括：提供一衬底；形成外延结构于所述衬底上，所述外延结构包括第一半导体层及第二半导体层；形成图案化电流阻挡层于所述外延结构上；形成电流扩展层于所述外延结构上，并移除部分所述电流扩展层及外延结构，以暴露所述第二半导体层，其中，所述电流扩展层覆盖所述图案化电流阻挡层；移除部分所述电流扩展层及外延结构，形成隔离槽，以暴露所述衬底；形成图案化反射层于所述电流扩展层上；形成第一电极及第二电极于所述图案化反射层上，所述第一电极连接所述电流扩展层，所述第二电极连接暴露的所述第二半导体层；形成图案化钝化层于所述第一电极及第二电极上；形成第一焊盘电极及第二焊盘电极于所述图案化钝化层上，所述第一焊盘电极连接所述第一电极，所述第二焊盘电极连接所述第二电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥彩虹蓝光科技有限公司，未经合肥彩虹蓝光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910535183.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：发光装置的制造方法以及发光装置
- 下一篇：发光二极管及显示屏
