[发明专利]基板抛光设备在审
| 申请号： | 201910536195.4 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110625530A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 姜胜培;裵俊和;梁熙星;曺雨辰;秋秉权 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/04;B24B37/10;B24B27/00 |
| 代理公司： | 11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了基板抛光设备。基板抛光设备包括台、按压单元、旋转单元、多个抛光垫和喷嘴部分，其中：台配置成装载基板，台具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，且基板装载在平坦表面上；按压单元配置成在第三方向上于基板上施加压力；旋转单元配置成使按压单元在平面图中观察时围绕平行于第三方向的中心轴绕转；多个抛光垫设置在按压单元与基板之间以与基板接触；以及喷嘴部分配置成将浆料供应到基板上。抛光垫可以在一个方向上彼此间隔开并且可以在平面图中具有矩形形状。 | ||
| 搜索关键词： | 按压单元 抛光垫 基板 基板抛光设备 平坦表面 旋转单元 配置 喷嘴 平行 基板接触 基板装载 矩形形状 施加压力 装载基板 中心轴 浆料 绕转 观察 | ||
【主权项】：
1.基板抛光设备，包括：/n台，具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，并且配置成支承基板；/n按压单元，配置成在垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上在所述基板上施加压力；/n旋转单元，连接到所述按压单元，所述旋转单元配置成使所述按压单元在平面图中观察时围绕平行于所述第三方向的中心轴绕转；/n多个抛光垫，设置在所述按压单元和所述基板之间并且用于对所述基板进行抛光；以及/n喷嘴部分，配置成将浆料供应到所述基板上，/n其中，所述抛光垫在与所述基板的移动的方向平行的方向上彼此间隔开。/n
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