[发明专利]一种砷化镓多晶的制作方法及装置在审
| 申请号： | 201910537542.5 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110144623A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 向丽君;王金灵;朱凌强;周铁军;刘留;罗小龙 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种砷化镓多晶的制作方法及装置，该方法采用水平梯度凝固法使装有砷的氮化硼舟与装有镓的氮化硼舟在密封的石英管内反应形成砷化镓多晶；然后切割去除所述石英管的管口的石英帽，取出砷化镓多晶，并且采用的切割步骤为：将所述石英管固定在切割台上；然后将运转的锯片布置在与所述石英管上靠近所述石英帽的正下方的横截面共面的位置；最后所述锯片相对所述石英管在所述横截面所在平面内做平移靠近运动，直至所述石英管被切断。在上述制作方法中，能够有效的避免切割工序中氮化硼舟因与砷化镓多晶料频繁碰撞而导致的两端破损的问题，使得氮化硼舟的使用寿命得到有效的提升，同时还能够有效的降低石英管的管口破损率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 砷化镓 氮化硼 多晶 切割 石英帽 管口 锯片 制作 水平梯度凝固法 平移靠近 切割工序 使用寿命 所在平面 多晶料 破损率 去除 密封 破损 取出 运转 | ||
【主权项】：
1.一种砷化镓多晶的制作方法，其特征在于，该制作方法包括步骤：步骤S1：采用水平梯度凝固法使装有砷的氮化硼舟与装有镓的氮化硼舟在密封的石英管内反应形成砷化镓多晶；步骤S2：切割去除所述石英管的管口的石英帽，取出砷化镓多晶，具体的切割步骤为：步骤S21：将所述石英管固定在切割台上；步骤S22：将运转的锯片布置在与所述石英管上靠近所述石英帽的正下方的横截面共面的位置；步骤S23：所述锯片相对所述石英管在所述横截面所在平面内做平移靠近运动，直至所述石英管被切断。
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