[发明专利]生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜机构及装置有效
| 申请号： | 201910539079.8 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110257792B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 程春生;朱佳敏;高中赫;曹森;刘杰;姚林朋;赵跃 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜机构及装置，包括：滚轮，两个所述滚轮间隔设置，基带包裹在两个所述滚轮外侧；支撑件，所述支撑件设置在两个所述滚轮之间，所述支撑件与基带接触；镀膜组件，所述镀膜组件的位置与所述支撑件的位置相对应。与现有技术相比，本发明生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜机构及装置具有以下优点：1)采用金属靶材反应溅射镀膜提高镀膜本身的效率；2)采用小滚筒支撑基带代替支撑板支撑基带，减少了系统摩擦力，从而可增加绕带次数增加镀膜面积，提高镀膜效率；3)系统可实现往复运动，只需在一个腔体增加阴极就可实现多种膜层的镀膜，相对连体机减少了空间，同时不牺牲各个隔离层的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 第二代 高温 超导 阻挡 复合 镀膜 机构 装置 | ||
【主权项】：
1.一种生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜机构，其特征在于，包括：滚轮，两个所述滚轮间隔设置，基带包裹在两个所述滚轮外侧；滚筒，所述滚筒设置在两个所述滚轮之间，所述滚筒与基带接触；镀膜组件，所述镀膜组件的位置与所述滚筒的位置相对应。
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