[发明专利]掩膜板、掩膜装置及其应用方法在审
| 申请号： | 201910540107.8 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110241384A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 肖世艳 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/34;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 为实现OLED CUP技术，本发明提供一种掩膜板、掩膜装置及掩膜板的应用方法，掩膜板用于基板成膜，所述基板包括一预设的开孔区，所述掩膜板被一分隔线分为遮光区和开口区两部分；所述掩膜板包括一遮挡区；当所述掩膜板与所述基板被对位设置时，所述遮挡区在所述基板表面的投影位于所述开孔区内；本发明提供一种掩膜板、掩膜装置及掩膜板的应用方法，使用两种不同的掩膜板对同一基板表面先后进行二次沉积处理，使得基板上表面除被遮挡区外的每处位置都被涂覆成膜，且不会产生附膜重叠的现象，可以提高有机材料在通孔周边区域成膜的均匀性，防止基板表面的同一位置存在多个不同色的子像素，从而可以防止混色或者色偏的现象产生，提高显示面板的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 掩膜装置 遮挡区 基板表面 成膜 基板 应用 基板上表面 二次沉积 基板成膜 通孔周边 同一基板 同一位置 显示面板 有机材料 均匀性 开孔区 开口区 遮光区 子像素 对位 附膜 隔线 混色 开孔 色偏 涂覆 预设 投影 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，用于基板成膜，其特征在于，所述基板包括一预设的开孔区，所述掩膜板被一分隔线分为遮光区和开口区两部分；所述掩膜板包括一遮挡区，突出于所述遮光区的一侧边，该侧边在所述分隔线处连接至所述开口区，当所述掩膜板与所述基板被对位设置时，所述遮挡区在所述基板表面的投影位于所述开孔区内。
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