[发明专利]搬送装置自动清洁系统及方法在审
申请号: | 201910542188.5 | 申请日: | 2019-06-21 |
公开(公告)号: | CN112108456A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 卓飞 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B13/00 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及清洁设备技术领域,公开了一种搬送装置自动清洁系统及方法,所述搬送装置自动清洁系统包括:清洁室;控制系统,所述控制系统控制搬送装置进入所述清洁室,并对所述搬送装置进行自动清洁。本发明提供的搬送装置自动清洁系统及方法能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时,减少人力成本、提高搬送装置的利用率。 | ||
搜索关键词: | 装置 自动 清洁 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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