[发明专利]一种金刚石输能窗及其制备方法

摘要

本发明公开一种金刚石输能窗及其制备方法，金刚石输能窗包括上、下金属片、金刚石圆片及中间层。该结构对应的制备方法，包括：对上金属片、下金属片和金刚石圆片表面进行化学机械抛光处理、清洗；在金刚石圆片表面的窗口区域制作掩膜；对上金属片、下金属片和金刚石圆片表面进行反溅射；在上、下金属片和金刚石圆片表面沉积中间层材料；去除镀膜后的金刚石圆片表面的掩膜；利用热压键合使溅射有中间层材料的上金属片、下金属片和金刚石圆片紧密结合，得到金刚石输能窗。此外，在超高真空下使用表面激活键合的方法，可得到无中间层的金刚石输能窗。本发明解决了在制备金刚石表面金属化、焊接困难以及可能发生金刚石产生裂纹或断裂的问题。

主权项

1.一种金刚石输能窗的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：S1，对上金属片(1)、金刚石圆片(2)和下金属片(3)进行反溅射，使得表面激活；再在上金属片(1)、金刚石圆片(2)和下金属片(3)表面镀上中间层(4)；S2，将上金属片(1)和下金属片(3)装配于金刚石圆片(2)两侧，得到装配体；S3，将所述装配体进行热压键合，得到金刚石输能窗。