[发明专利]一种PL检测机及检测方法在审
申请号: | 201910546071.4 | 申请日: | 2019-06-23 |
公开(公告)号: | CN110223931A | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 徐文斌;黄荣杰;刘宇昆;李宝玉 | 申请(专利权)人: | 广州蓝海智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/677 |
代理公司: | 广州慧宇中诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44433 | 代理人: | 刘各慧 |
地址: | 510032 广东省广州市花都区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种PL检测机及检测方法,PL检测机包括机架、检测输送装置、自动取放料装置、传送装置、升降装置和横移装置;检测输送装置包括检测输送机架、检测输送驱动机构和检测装置;在机架的上料端和下料端分别安装了升降装置,在机架的中部安装检测输送装置,在机架的上料端设有自动取放料装置,在机架的下料端并排的设有二个以上的自动取放料装置,在上料端的自动取放料装置与检测输送装置之间设有传送装置,在检测输送装置与下料端的自动取放料装置之间设有传送装置,在下料端的自动取放料装置上方设有横移装置,检测方法为通过上述PL检测机进行自动化连续检测。本发明结构合理,取放料速度快,检测精度高,检测可靠性好。 | ||
搜索关键词: | 取放料装置 检测输送装置 检测 检测机 传送装置 横移装置 升降装置 上料端 下料端 输送驱动机构 安装检测 检测装置 连续检测 输送机架 输送装置 取放 上料 下料 自动化 | ||
【主权项】:
1.一种PL检测机,其特征在于:包括机架、检测输送装置、自动取放料装置、传送装置、升降装置和横移装置;检测输送装置包括检测输送机架、检测输送驱动机构和检测装置,检测输送机架设在机架上,检测输送驱动机构安装在检测输送机架上,检测装置位于检测输送驱动机构的上方;检测输送机架包括检测输送支撑板、检测输送底板和固定支板;检测输送底板安装在机架上;检测输送支撑板安装在检测输送底板上,检测输送支撑板的前后两端之间分别设有固定支板;检测输送支撑板在输送方向的中部由顶端向下具有延伸到检测输送支撑板中部的凹陷槽;检测输送驱动机构包括检测输送驱动和检测输送装置;检测输送驱动安装在检测输送机架上;检测输送驱动包括检测输送马达和主动轴;在其中一检测输送支撑板上安装有检测输送马达;主动轴安装在检测输送支撑板上;检测输送装置包括主动轮、从动轮组、导向轮组和检测输送皮带;主动轮安装在主动轴上,检测输送驱动带动主动轮;从动轮组包括安装在检测输送支撑板前端的第一从动轮、安装在检测输送支撑板后端的第二从动轮、安装在检测输送支撑板上且位于凹陷槽前端的第三从动轮、安装在检测输送支撑板上且位于凹陷槽后端的第四从动轮和安装在检测输送支撑板上且位于第一从动轮下方的第五从动轮;导向轮组包括安装在检测输送支撑板且位于主动轮前端的第一导向轮、安装在检测输送支撑板且位于主动轮后端的第二导向轮、安装在检测输送支撑板上且位于第一从动轮与第三从动轮之间的第三导向轮、安装在检测输送支撑板上且位于第二从动轮与第四从动轮之间的第四导向轮、安装在检测输送支撑板上且位于第三从动轮下方的第五张紧轮和安装在检测输送支撑板上且位于第四从动轮下方的的第六导向轮;检测输送皮带套在主动轮、从动轮组和导向轮组上,检测输送皮带在检测输送支撑板中部绕凹陷槽外围运动;检测输送底板设有位于凹陷槽前方的检测接收装置和位于凹陷槽后方的接近传感装置;在机架的上料端和下料端分别安装了升降装置,在机架的中部安装检测输送装置,在机架的上料端设有自动取放料装置,在机架的下料端并排的设有二个以上的自动取放料装置,在上料端的自动取放料装置与检测输送装置之间设有传送装置,在检测输送装置与下料端的自动取放料装置之间设有传送装置,在下料端的自动取放料装置上方设有横移装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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