[发明专利]用于清洁旋涂仪的碗的夹具和包括其的设备在审
| 申请号： | 201910547312.7 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110871186A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 全炫周;金大城;李承汉;金圣协 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;细美事有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 姜长星;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于清洁旋涂仪的碗的夹具和包括其的设备。被构造为清洁旋涂仪的碗的夹具包括设置在旋涂仪的旋转卡盘上的基体，基体被构造为通过旋转卡盘进行旋转。该夹具还包括引导构件，引导构件在第一方向上从基体的边缘部分朝向碗的内盖延伸，并且被构造为将喷射到基体的下表面的下清洁剂引导到碗的内盖。碗的内盖被构造为接收光致抗蚀剂并位于旋转卡盘下方。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 旋涂仪 夹具 包括 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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