[发明专利]一种调节光学谐振腔谐振频率的装置在审
| 申请号： | 201910547574.3 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110277972A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金华伏安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种调节光学谐振腔谐振频率的装置，包括光学谐振腔，所述光学谐振腔的上方设置有第一电极层，所述第一电极层的上方设置有压电薄膜层，所述有压电薄膜层上方设置有第二电极层；该调节光学谐振腔谐振频率的装置，通过在光学谐振腔的上方设置能够加载电压的压电薄膜层，从而形成一个薄膜体声波谐振器，通过给薄膜体声波谐振器加载电压使得薄膜体声波谐振器的逆压电效应所产生的声波改变光学谐振腔的折射率，从而改变光学谐振腔的有效折射率和共振波长，从而与不同波长的光波产生共振。 | ||
| 搜索关键词： | 光学谐振腔 薄膜体声波谐振器 压电薄膜层 谐振频率 第一电极 加载电压 逆压电效应 有效折射率 第二电极 共振波长 光波产生 声波 折射率 波长 共振 | ||
【主权项】：
1.一种调节光学谐振腔谐振频率的装置，包括光学谐振腔（2），其特征在于：所述光学谐振腔（2）的上方设置有第一电极层（3），所述第一电极层（3）的上方设置有压电薄膜层（4），所述有压电薄膜层（4）上方设置有第二电极层（5）。
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