[发明专利]一种铍材表面氮化钛膜层及其制备方法有效
| 申请号： | 201910549811.X | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110144555B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 闫春和;崔砚;王长青;刘冰洋;腾海涛;肖健;齐岩;郭子忠 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张丽娜 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种铍材表面氮化钛(TiN)膜层及其制备方法，该方法采用多弧离子镀技术在铍材表面制备TiN膜层，属于表面处理技术领域。本发明实现了在铍材表面制备大厚度(厚度25微米‑50微米以上、高结合强度(拉拔结合强度大于8kg/mm |
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| 搜索关键词： | 一种 表面 氮化 钛膜层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铍材表面氮化钛膜层，其特征在于：该氮化钛膜层的材料为氮化钛，厚度为25微米‑50微米，氮化钛膜层通过钛层与铍材表面连接。
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