[发明专利]偏转反射镜装置

摘要

一种偏转反射镜装置，包括反射镜、镜座、基板、第一弹性元件、第二弹性元件、第一磁性件、第二磁性元件、补偿板、基座及位移传感器；反射镜固定于镜座内，镜座安装于基板的一侧，第一弹性件及第一磁性元件安装于基板与镜座相背的一侧上；基板与镜座相背的一侧通过第一弹性元件安装于基座的一端，补偿板通过第二弹性件安装于基座另一端，第二磁性元件安装于基板与第二弹性件的同一侧上，第二磁性件与第一磁性件之间能够产生磁场且相互滑动配合；位移传感器安装于基座上。反射镜及基板在第一磁性件的驱动力下进行偏转运动时，补偿板在第二磁性件的反作用力驱动下以相同的频率和幅值朝相反的方向进行偏转运动，从而抵消反射镜偏转的反作用力。

主权项

1.一种偏转反射镜装置，其特征在于，包括反射镜、镜座、基板、第一弹性元件、第二弹性元件、第一磁性件、第二磁性元件、补偿板、基座及位移传感器；所述反射镜固定于所述镜座内，所述镜座安装于所述基板的一侧，所述第一弹性件及所述第一磁性元件安装于所述基板与镜座相背的一侧上；且所述基板与镜座相背的一侧通过第一弹性元件安装于所述基座的一端，所述补偿板通过第二弹性件安装于所述基座与第一弹性件相背的一端，所述第二磁性元件安装于所述基板与第二弹性件的同一侧上，所述第二磁性件与第一磁性件之间能够产生磁场且相互滑动配合；所述位移传感器安装于所述基座上以检测所述基板的位移。