[发明专利]利用离子阻性离子可穿透元件电镀金属的装置和方法有效
| 申请号： | 201910552629.X | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110306224B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 布哈努丁·卡加伊瓦拉;布莱恩·L·巴卡柳;蔡李鹏;亚伦·贝尔克;罗伯特·拉什;史蒂文·T·迈耶 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/00;H01L21/027;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及利用离子阻性离子可穿透元件电镀金属的装置和方法。在一个方面，一种用于利用改善的电镀均匀性在半导体衬底上电镀金属的装置包括：电镀室，其被配置成容纳电解液和阳极；衬底支架，其配置成保持所述半导体衬底；以及离子阻性离子可穿透元件，其包括基本上平坦的面对衬底的表面和相反的表面，其中所述元件在电镀期间使得离子流能朝向所述衬底流动，并且其中所述元件包括具有变化的局部电阻率的区域。在一个实施例中，元件的电阻率可通过改变元件的厚度而变化。在一些实施方式中，元件的厚度从元件的边缘沿径向方向到中心逐渐减小。所提供的装置和方法对于在WLP凹陷特征内电镀金属是特别有用的。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 离子 可穿透 元件 电镀 金属 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于衬底的电化学处理的离子阻性离子可穿透元件，其中该元件允许在电化学处理期间离子电流流过该元件，并且其中该元件包括具有逐渐变化的局部电阻率的区域。
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