[发明专利]一种玻璃基板检测方法、装置及系统有效
申请号: | 201910553428.1 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN112212782B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 黄振东;李然;吕海波 | 申请(专利权)人: | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/34 | 分类号: | G01B7/34;G01B7/02;G01R31/52;G01M11/02;G02F1/13 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 230013 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本申请公开了一种玻璃基板检测方法、装置及系统,该方法包括:获取玻璃基板检测信息,该玻璃基板检测信息包括玻璃基板检测路径上的至少一个采样点对应的接触式检测设备下压量补偿值,该至少一个接触式检测设备下压量补偿值是对样本玻璃基板进行非接触式检测得到的;沿玻璃基板检测路径对待检测玻璃基板进行接触式检测,其中,在玻璃基板检测路径上的至少一个采样点位置,根据至少一个接触式检测设备下压量补偿值中对应该位置的接触式检测设备下压量补偿值,对该位置上的接触式检测设备下压量进行补偿,待检测玻璃基板与样本玻璃基板为同一类型的玻璃基板。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 检测 方法 装置 系统 | ||
【主权项】:
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