[发明专利]一种纳米压印模具、纳米压印装置和纳米压印方法有效
| 申请号： | 201910555390.1 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110262186B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王健;李建;陈召;覃一锋;张文余;黄东升 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 张筱宁 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种纳米压印模具，包括：纳米压印模板，与纳米压印模板紧密连接的密封腔体。纳米压印模板用于对压印胶进行压印，且具有透气性，使得在压印过程中，该纳米压印模板的模具腔内的空气扩散进入密封腔体。密封腔体的侧壁设置抽真空孔，使得进入到该密封腔体内的空气通过抽真空孔排出。本发明实施例还公开一种纳米压印装置和纳米压印方法。由于本发明的纳米压印模板与密封腔体紧密相连，使得在压印过程中，该纳米压印模板的模具腔内的空气扩散进入密封腔体，密封腔体的侧壁设置抽真空孔，使得进入到该密封腔体内的空气通过抽真空孔排出，从而将图形转移、真空脱气整合起来，避免随机气泡的产生，减少制造时间、均匀地排出空气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 模具 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印模具，其特征在于，包括：纳米压印模板，与所述纳米压印模板紧密连接的密封腔体；所述纳米压印模板用于对压印胶进行压印，且具有透气性，使得在压印过程中，该纳米压印模板的模具腔内的空气扩散进入所述密封腔体；所述密封腔体的侧壁设置抽真空孔，使得进入到该密封腔体内的空气通过所述抽真空孔排出。
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