[发明专利]湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机有效
| 申请号： | 201910555992.7 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112130420B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 赵丹平;杨志斌;罗晋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机。所述湿空气制备装置包括供水装置、供气装置、湿空气生成装置和输出装置，所述供水装置用于给所述湿空气生成装置提供液态的预制水，所述供气装置用于给所述湿空气生成装置提供预制空气，所述湿空气生成装置用于混合预制水和预制空气以生成湿空气，所述输出装置用于排出所述湿空气生成装置中的湿空气。本发明中的湿空气制备装置利用液态的预制水在毛细管束组件中的毛细现象制备湿空气。由于液态的预制水在毛细管束组件中发生毛细现象，因此，可通过毛细管束组件增加液态的预制水的液面的面积，从而可增加液态的预制水的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 湿空气 生成 装置 制备 方法 以及 光刻 | ||
【主权项】：
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