[发明专利]一种加速度计、环境传感器的集成芯片及其制造方法在审
| 申请号： | 201910562061.X | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110346602A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 李向光;付博;方华斌 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P1/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加速度计、环境传感器的集成芯片，包括支撑部，以及通过悬臂梁连接在所述支撑部上的质量块；在悬臂梁上设置有第一压敏电阻；第一压敏电阻被配置为检测质量块在受到加速度影响时悬臂梁的形变程度；质量块上具有凹槽；还包括设置在质量块上且覆盖所述凹槽的敏感膜；在敏感膜上设置有第二压敏电阻；第二压敏电阻被配置为检测敏感膜受到环境变化发生形变的程度。根据本公开的一个实施例，将加速度计和环境传感器集成在同一芯片内，可以大大降低了芯片占用的空间，利于电子器件的小型化发展。 | ||
| 搜索关键词： | 压敏电阻 质量块 环境传感器 加速度计 敏感膜 悬臂梁 集成芯片 形变 加速度影响 电子器件 环境变化 芯片占用 检测 支撑 配置 芯片 覆盖 制造 | ||
【主权项】：
1.一种加速度计、环境传感器的集成芯片，其特征在于：包括支撑部，以及通过悬臂梁连接在所述支撑部上的质量块；在所述悬臂梁上设置有第一压敏电阻；所述第一压敏电阻被配置为检测质量块在受到加速度影响时悬臂梁的形变程度；所述质量块上具有凹槽；还包括设置在质量块上且覆盖所述凹槽的敏感膜；所述敏感膜对环境敏感；在所述敏感膜上设置有第二压敏电阻；所述第二压敏电阻被配置为检测敏感膜受到环境变化发生形变的程度。
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