[发明专利]一种转印装置及转印方法

摘要

本发明提供一种转印装置及转印方法，该转印装置包括：基台，被转印基板在所述基台上沿第一方向运动；设置于基台上方的多个压头，沿与第一方向垂直的第二方向设置；设置于多个压头与基台之间的承载导轨，承载导轨上开设有沿第二方向设置的多个通孔；设置于承载导轨上的柔性基材，柔性基材上承载有阵列排布的多个被转印器件，柔性基材沿与第一方向相反的第三方向运动；检测单元，设置于各压头上；切割单元，设置于各压头上；及，键合单元。本发明的转印装置及方法具有逐行递进转印、即时检测等特点，可适应较高PPI显示面板制作，提高转印效率和转印精度。

主权项

1.一种转印装置，其特征在于，包括：用于承载被转印基板的基台，所述被转印基板在所述基台上沿第一方向运动；设置于所述基台上方，进行升降运动的多个压头，多个所述压头沿与所述第一方向垂直的第二方向依次间隔设置；设置于所述多个压头与所述基台之间的承载导轨，所述承载导轨上开设有多个通孔，所述多个通孔沿所述第二方向依次间隔设置；设置于所述承载导轨之上的柔性基材，所述柔性基材上承载有阵列排布的多个被转印器件，且所述柔性基材沿与所述第一方向相反的第三方向运动；用于检测各压头下方对应的被转印器件的当前状态的检测单元，所述检测单元设置于各所述压头之上，所述被转印器件的当前状态包括被转印器件为良品或者被转印器件为次品；切割单元，所述切割单元设置于各所述压头上，用于当所述检测单元检测到压头下方的所述被转印器件为良品时，切割压头下方对应的柔性基材预定区域，以使压头下方的被转印器件与所述预定区域内的所述柔性基材能够被压头下压至所述被转印基板上；及，键合单元，用于将下压至所述被转印基板上的被转印器件通过切割下的所述柔性基材键合至所述被转印基板上。