[发明专利]一种基于白光干涉的背钻孔深度测量装置和方法在审
申请号: | 201910563589.9 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN110260816A | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 姜广文;朱志武;曹结新 | 申请(专利权)人: | 湖南省鹰眼在线电子科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/22 |
代理公司: | 北京鱼爪知识产权代理有限公司 11754 | 代理人: | 廖斌 |
地址: | 410005 湖南省长沙市开福区新河街道*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供一种基于白光干涉的背钻孔深度测量装置和方法,包括宽谱段光源,光源整形镜片组,分光器,第一成像镜片组,光强衰减装置,第二成像镜片组,参考面,镜片组,相机,位移台。宽谱段光源发出的光经过镜片组整形后,经过分光器分成两束,一束经由光强衰减装置、第一成像镜片组和参考面的反射,返回分光器,另一束通过第二成像镜片组照射到样品表面,经由样品表面反射,返回分光器;返回分光器的两束光再经过汇聚镜片组由相机接收。本发明采用白光干涉原理实现背钻孔深度测量。在传统白光干涉基础上,加入分光调节单元,增强PCB的背钻孔反射的光信号,从而达到提高测量精度的效果。 | ||
搜索关键词: | 分光器 成像镜片组 白光干涉 背钻孔 镜片组 光源 光强衰减装置 深度测量装置 宽谱段 整形 反射 返回 样品表面反射 深度测量 相机接收 样品表面 原理实现 参考面 位移台 分光 照射 相机 测量 汇聚 参考 | ||
【主权项】:
1.一种基于白光干涉的背钻孔深度测量装置,包括宽谱段光源,光源整形镜片组,分光器,第一成像镜片组,光强衰减装置,第二成像镜片组,参考面,汇聚镜片组,相机,位移台,其特征在于:宽谱段光源发出的光经过光源整形镜片组整形后,经过分光器分成两束,一束经由光强衰减装置、第一成像镜片组和参考面的反射,返回分光器,另一束通过第二成像镜片组照射到样品表面,经由样品表面反射,返回分光器;返回分光器的两束光再经过汇聚镜片组由相机接收。
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