[发明专利]一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201910565997.8 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110319822B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郑青龙;刘爽 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5747 | 分类号： | G01C19/5747;G01C19/5656 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪，其包括驱动质量块、传动部件、科氏力质量块，并且限定了相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向；所述驱动质量块被设置为可沿所述第一方向活动；所述传动部件分别通过具有弹性的结构与所述驱动质量块和所述科氏力质量块相连接；所述驱动质量块在沿所述第一方向活动时，带动所述传动部件活动，进而使所述传动部件驱动所述科氏力质量块仅沿所述第二方向活动；所述传动部件与所述科氏力质量块的连接适于所述科氏力质量块在科氏力的作用下仅沿所述第三方向活动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括驱动质量块、传动部件、科氏力质量块，并且限定了相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向；所述驱动质量块被设置为可沿所述第一方向活动；所述传动部件分别通过具有弹性的结构与所述驱动质量块和所述科氏力质量块相连接；所述驱动质量块在沿所述第一方向活动时，带动所述传动部件活动，进而使所述传动部件驱动所述科氏力质量块仅沿所述第二方向活动；所述传动部件与所述科氏力质量块的连接适于所述科氏力质量块在科氏力的作用下仅沿所述第三方向活动。
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