[发明专利]微机械构件和用于制造微机械构件的方法在审
| 申请号： | 201910566253.8 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110642218A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特;R·毛尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01C19/5733 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械构件(1)，尤其是转速传感器，具有具有主延伸平面的衬底(10)和至少一个质量振子(12)，质量振子(12)通过一个或多个弹簧元件(13)相对于衬底(10)能振动地支承，其中，至少一个弹簧元件(13)具有第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)，第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上叠置地布置并且在该垂直方向(18)上彼此间隔开。本发明涉及一种制造微机械构件(1)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 弹簧 微机械构件 主延伸平面 弹簧元件 质量振子 衬底 转速传感器 振动地支 叠置 垂直 制造 | ||
【主权项】：
1.微机械构件(1)，尤其是转速传感器，具有具有主延伸平面的衬底(10)和至少一个质量振子(12)，其中，质量振子(12)通过一个或多个弹簧元件(13)相对于衬底(10)能振动地支承，其特征在于，至少一个弹簧元件(13)具有第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)，其中，第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上叠置地布置并且在该垂直方向(18)上彼此间隔开。/n
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