[发明专利]一种改善激光磷硅玻璃掺杂电池表面激光损伤的方法

摘要

本发明涉及一种改善电池表面激光损伤的方法，尤其涉及一种改善激光磷硅玻璃掺杂电池表面激光损伤的方法，属于光伏元件技术领域。本发明采用可腐蚀硅但不腐蚀磷硅玻璃的化学腐蚀液TMAH去除激光损伤层，既去除了激光掺杂后裸露的硅损伤层，又进一步形成氧化层对正面形成保护效果，保护正面在碱抛中的完整性，刻蚀速率适中使得工艺易控制，均匀性好，保留了绒面本身的微观结构，适用于产业化生产，该方法可以很好的去除激光损伤，并提高太阳电池转换效率，该方法切实有效，具有很好的实用性。

主权项

1.一种改善激光磷硅玻璃掺杂电池表面激光损伤的方法，包括以下步骤：步骤一、制绒和清洗，去除表面损伤层并生成绒面；步骤二、低压扩散，采用低表面浓度、浅结扩散工艺；步骤三、激光掺杂；步骤四、修复表面激光损伤，对激光掺杂SE电池的激光损伤区域进行腐蚀处理，去除电池表面的激光损伤后经过链式去除电池背面PSG，再进行槽式碱抛光；步骤五、正反镀膜，在电池背面沉积氧化铝钝化膜，电池正、背面分别镀氮化硅膜后印刷正、背电极。