[发明专利]内绝缘塑封器件的生产工艺在审
申请号: | 201910567698.8 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN110233111A | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 徐洋;杨凯锋;施嘉颖;顾红霞;王其龙 | 申请(专利权)人: | 江苏捷捷微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/367;H01L23/495 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 查鑫利 |
地址: | 226200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种内绝缘塑封器件的生产工艺,本发明的覆铜陶瓷片开孔的设计增加其整体高度,最大化的保证了覆铜区域的面积,可大幅增加装片有效区。最大可封装6090um*6330um&3000um*5000um芯片组合,可容纳多种版面芯片两两组合,满足市场大部分产品需求,从而保证经济效益;覆铜陶瓷片总厚度为1.24±0.05mm,在封装双台面产品时,可保证芯片沟槽内有足够量的塑封体填充。产品可顺利通过3000‑3500VRMS绝缘电压,保证产品可靠性;采用头脚一体引线框架,可保证框架结构及尺寸的一致性,相比于传统散热片架与绝缘陶瓷片与引线脚架的生产模式,一体式框架与覆铜陶瓷片的的装配更为简便,生产效率可大幅提高。 | ||
搜索关键词: | 覆铜 陶瓷片 塑封器件 内绝缘 保证 生产工艺 封装 芯片 产品可靠性 绝缘陶瓷片 一体式框架 产品需求 绝缘电压 框架结构 两两组合 散热片架 生产模式 生产效率 芯片沟槽 引线框架 塑封体 引线脚 有效区 最大化 台面 开孔 装片 填充 装配 版面 容纳 | ||
【主权项】:
1.内绝缘塑封器件的生产工艺,其特征在于:包括以下步骤:步骤1:来料检验:保证所需芯片及原材料均满足正常生产要求;步骤2:装片烧结:各层点胶位置居中分布,点胶量均匀饱满;烧结炉中氧气浓度≤300PPM,真空压力0‑10kPa,步进时间60±10s,温区设置(200/250/300/310/370/340/265)±10℃,实现引线框架与覆铜陶瓷片定位准确,上下左右位置偏差<0.5mm,转角偏差<8°,铜引线片与管脚间无虚焊,烧结后总空洞率≤18°,单个空洞率≤5°;步骤3:铝线键合:一焊时间2.5±0.5,一焊功率6.0±1.0,一焊压力6.0±1.0,二焊时间2.5±0.5,二焊功率6.0±1.0,二焊压力6.0±1.0,保证焊点牢固,焊点无畸形,铝线无根切现象,铝线拉力值符合产品要求;步骤4:塑封后固化:采用KHG500塑封料,合模压力130+20kg/cm2,排片机温度170±20℃,框架预热时间2±1min,上模温度190±20℃,下模温度185±20℃,注进压力55±10kg/cm2 ,注进慢速时间10±3s,注进慢速速度4±2mm/s,固化时间100±20s,保证产品无漏封及塑封体残缺,无异常溢料,无浇道残留,塑封体表面良好;步骤5:表面处理:软化去飞边后,进行表面处理,在产品引线脚及散热片表面均匀镀上一层银白色镀层,镀层厚度7‑12μm;步骤6:切筋:利用冲切设备,将表面处理完好的产品进行切筋分离,以方便电参数的测试和用户使用;步骤7:测试打印:使用自动测试机将产品根据测试指令的要求按电参数进行分档,判出合格品,剔除不合格品,并按要求在产品表面进行激光打印;步骤8:包装:将打印后的成品进行包装、入库。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造