[发明专利]基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉测量系统及测量方法，其特征是：激光器的出射光经扩束后照射测量面；测量面漫反射的光经两块分光棱镜后分成三束光；三束光分别通过反射镜、光阑、成像透镜和分光棱镜后同时成像到CCD相机上；本发明载波频率和剪切量独立可调，能够实现对被测物的缺陷进行多方向同步检测，是一种无损、全场、高效的测量系统。

主权项

1.一种基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉测量系统，其特征是：以激光器(1)为激光光源，所述激光器(1)的出射光经扩束后照射在被测面(2)，在所述被测面(2)的表面形成漫反射光；所述漫反射光经第一分光棱镜(3)按5:5分束形成第一束光和第二束光，所述第二束光经第二分光棱镜(4)按5:5分束形成第三束光和第四束光；所述第一束光依次经第一反射镜(5)、第一孔径光阑(6)、第一成像透镜(7)、第三分光棱镜(8)和第四分光棱镜(9)后成像在CCD相机(10)的靶面上，形成第一幅图像；所述第三束光依次经第二反射镜(11)、第二孔径光阑(12)、第二成像透镜(13)、第三分光棱镜(8)和第四分光棱镜(9)后成像在CCD相机(10)的靶面上，形成第二幅图像；所述第四束光依次经第三反射镜(14)、第三孔径光阑(15)、第三成像透镜(16)和第四分光棱镜(9)后成像在CCD相机(10)的靶面上，形成第三幅图像；所述第一幅图像、第二幅图像和第二幅图像在CCD相机(10)的靶面上相互干涉，形成散斑干涉图；通过调整所述第二反射镜(11)使所述第二幅图像相对与所述第一幅图像产生X正方向的剪切；通过调整所述第三反射镜(14)使所述第三幅图像相对于所述第一幅图像产生Y正方向的剪切；且所述第三幅图像产生相对于第二幅图像斜45度方向的剪切，所述剪切是指图像之间相互错位；利用所述第一幅图像、第二幅图像和第三幅图像在CCD相机(10)的靶面上相互错位干涉，获得多方向剪切散斑干涉图。