[发明专利]平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法在审
| 申请号： | 201910568937.1 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110207623A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 张品光;王丹艺;何剑炜 | 申请（专利权）人： | 东莞市宇瞳光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市长*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法，平行度测量装置用于测量第一表面和第二表面的平行度，包括：准直仪，发射测量光束；第一光学元件，与所述第一表面平行，反射部分所述测量光束至所述准直仪，并透射部分所述测量光束；第二光学元件，与所述第二表面平行，位于所述第一光学元件远离所述准直仪一侧，反射透过所述第一光学元件的所述测量光束至所述准直仪。本发明实施例提供一种平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法，以实现简化平行度测量的过程，提高平行度测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 平行度测量 平行度测量装置 光学元件 准直仪 测量光束 打压机 第二表面 第一表面 反射 平行 发射测量光束 平行度 透射 测量 | ||
【主权项】：
1.一种平行度测量装置，用于测量第一表面和第二表面的平行度，其特征在于，包括：准直仪，发射测量光束；第一光学元件，与所述第一表面平行，反射部分所述测量光束至所述准直仪，并透射部分所述测量光束；第二光学元件，与所述第二表面平行，位于所述第一光学元件远离所述准直仪一侧，反射透过所述第一光学元件的所述测量光束至所述准直仪。
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