[发明专利]一种基板固定装置

摘要

本发明属于基板固定技术领域，公开了一种基板固定装置，其包括支撑框架、若干吸盘组件及若干吸附条组件，其中，若干吸盘组件的顶面形成支撑基板的承载平面，吸附条组件设置于支撑框架的上且分布于支撑框架的四侧，吸附条组件被配置为吸附基板，且所述吸附条组件的吸附面与承载平面平齐。本发明提供的基板固定装置通过设置吸盘组件与吸附条组件配合使用来吸附基板，保证了该基板固定装置具有较大的吸附能力；通过增加吸附条组件，从基板的四边对基板进行吸附，相较于只采用吸盘来吸附，在保证相同的吸附力的前提下能够有效地减少吸盘的使用数量，因此，在对基板进行检测时，吸盘组件会对基板造成的遮挡较少，减小了基板的非检测区。

主权项

1.一种基板固定装置，其特征在于，包括：支撑框架(1)；若干吸盘组件(2)，设置于所述支撑框架(1)上，若干所述吸盘组件(2)的顶面形成支撑基板的承载平面；及若干吸附条组件(3)，所述吸附条组件(3)设置于所述支撑框架(1)上且分布于所述支撑框架(1)的四侧，所述吸附条组件(3)被配置为吸附所述基板，且所述吸附条组件(3)的吸附面与所述承载平面平齐。