[发明专利]一种宽频带无源耐高温柔性振动传感器及其制备工艺有效
| 申请号： | 201910571554.X | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110230031B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李晨;熊继军;贾蔓谷;薛亚楠 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/20;C23C14/04;C23C14/02;C23C14/08;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司 11407 | 代理人： | 彭丽芳 |
| 地址： | 030051 山西省太原市尖*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽频带无源耐高温柔性振动传感器，所述的传感器自上而下分为五层，分别是耐高温氧化铝薄膜封装层、电容上极板和矩形电感线圈层、氧化铝薄膜介质层、电容的下极板层和作为基底的聚酰亚胺层。所述聚酰亚胺基底上沉积有电容下极板，所述电容下极板上沉积氧化铝薄膜介质层，所述氧化铝薄膜介质层上沉积有电容上极板和电感线圈，且电容上极板位于电感线圈的中心处，电容上极板和电感线圈上沉积有耐高温氧化铝薄膜封装层，所述氧化铝薄膜介质层上设有用于实现电容下极板和电感线圈电连接的通孔。本发明选用聚酰亚胺柔性材料作基底，可以完全附着于异形构件表面，在大型装备工作中不易受振脱落，能够实现异形构件表面振动参数的动态精准测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽频 无源 耐高温 柔性 振动 传感器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种宽频带无源耐高温柔性振动传感器，其特征在于，所述的传感器自上而下分为五层，分别是耐高温Al2O3薄膜封装层、电容上极板和电感线圈层、Al2O3薄膜介质层、电容的下极板层和作为基底的聚酰亚胺层，所述聚酰亚胺基底上沉积有电容下极板，所述电容下极板上沉积氧化铝介质层，所述氧化铝介质层上沉积有电容上极板和电感线圈，且电容上极板位于电感线圈的中心处，电容上极板和电感线圈上沉积有氧化铝封装层，所述氧化铝介质层上设有用于实现电容下极板和电感线圈电连接的通孔。
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