[发明专利]一种具有高声电转换效率的柔性声传感器有效
| 申请号： | 201910571790.1 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110311032B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 武小童;魏岑;何儿;王富军;王璐 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/22;H01L41/25 |
| 代理公司： | 上海统摄知识产权代理事务所(普通合伙) 31303 | 代理人： | 辛自豪 |
| 地址： | 201620 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种具有高声电转换效率的柔性声传感器，具有复合层结构，包括相邻的压电膜层和下电极层，下电极层上设有盲孔，且盲孔的孔口所在的下电极层的表面与压电膜层结合，盲孔的孔口面积为0.79cm |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 高声 转换 效率 柔性 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有高声电转换效率的柔性声传感器，其特征是：具有复合层结构，包括相邻的压电膜层和下电极层，下电极层上设有盲孔，且盲孔的孔口所在的下电极层的表面与压电膜层结合，盲孔的孔口面积为0.79cm2，体积为0.55cm3，分布密度为1个/9cm2，盲孔的形状为球缺状、棱柱状、棱台状、棱锥状、圆台状或圆锥状；柔性声传感器在分贝为80dB且频率为220Hz的声波下的最大电压输出为1.5～2.2mV/cm2。
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