[发明专利]光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法有效
| 申请号： | 201910572249.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110652751B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 林家任;洪培钧;林鸿振 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00;B01D19/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法。本揭示描述了一种当光阻剂清洗流过新光阻剂过滤器时，可以用来移除光阻剂中空气微气泡的方法。例如，该方法包括使光阻剂流过光阻剂过滤器以移除捕集在光阻剂通过光阻剂过滤器中产生的空气微气泡；在缓冲槽中收集具有空气微气泡的光阻剂；在缓冲槽中移除光阻剂中的空气微气泡；以及将没有空气微气泡的光阻剂从缓冲槽转移到光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻剂 分配 系统 回收 方法 | ||
【主权项】：
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