[发明专利]形成发光装置的制造方法及其所制成的发光装置有效
申请号: | 201910572937.9 | 申请日: | 2012-12-14 |
公开(公告)号: | CN110289346B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 吴佳裕;苏庆章;曾俊龙;沈庆兴 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种形成发光装置的制造方法及其所制成的发光装置。该制造方法包含:提供一基板;形成一发光结构于基板上,发光结构具有一活性层、一上表面以及一侧壁;形成一保护层于发光结构的该上表面及该侧壁上,保护层具有一第一厚度;蚀刻保护层使保护层具有一第二厚度小于第一厚度;以及图案化具有第二厚度的保护层以形成一电流障壁层。 | ||
搜索关键词: | 形成 发光 装置 制造 方法 及其 制成 | ||
【主权项】:
1.一种形成发光装置的制造方法,包含:提供基板;形成发光结构于该基板上,该发光结构具有活性层、上表面以及侧壁;形成保护层于该发光结构的该上表面及该侧壁上,该保护层具有第一厚度;蚀刻该保护层使该保护层具有第二厚度小于该第一厚度;以及图案化该保护层以形成电流障壁层。
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