[发明专利]减压干燥装置、基板处理装置以及减压干燥方法有效
| 申请号： | 201910573055.4 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110779280B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 辻雅夫;西冈贤太郎;高村幸宏;实井祐介 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;G03F7/38 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使在排气量小的情况下，也能够高精度地调节减压速度的技术。在本发明的减压干燥装置中，将腔室(20)内和泵(30)连接的排气配管部(40)具有在腔室和泵之间并列配置的大径配管(44)和小径配管(45)。小径配管的管径比大径配管的管径小。在减压干燥处理中，控制部能够在小径阀控制模式和大径阀控制模式之间进行切换，在小径阀控制模式中，使大径阀(440)的开度固定并调节小径阀(450)的开度，在大径阀控制模式中，调节大径阀的开度。由此，在减压排气量小的情况下，能够通过调节小径阀的开度而高精度地调节流路面积。在减压排气量大的情况下，通过调节能够大幅调节流路面积的大径阀的开度，能够响应性良好地调节减压速度。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 处理 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种减压干燥装置，对附着有处理液的基板进行减压干燥，其中，/n所述减压干燥装置包括：/n腔室，容纳所述基板，并在所述基板的周围形成处理空间；/n泵，对所述腔室内的气体进行吸引排气；/n排气配管部，将所述腔室内和所述泵进行流路连接；以及/n控制部，控制各部的动作，/n所述排气配管部包括：大径配管，安装有大径阀；以及小径配管，安装有管径比所述大径阀的管径小的小径阀，/n所述大径阀和所述小径阀分别能够通过变更开度来变更配管内的流路面积，/n所述大径配管和所述小径配管在所述腔室和所述泵之间并列配置，/n所述控制部在减压干燥处理中，能够在小径阀控制模式和大径阀控制模式之间进行切换，在所述小径阀控制模式中，使大径阀的开度固定并调节所述小径阀的开度，在所述大径阀控制模式中，调节所述大径阀的开度。/n
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