[发明专利]一种激光清洗的对焦方法及装置

摘要

本发明实施例提供一种激光清洗的对焦方法及装置，该方法包括：利用具备第一波长的对焦光束对清洗激光的聚焦焦点与被清洗物体表面的距离进行测量给出离焦信息；对焦光束对激光清洗附属产物具备最大穿透率，利用对焦光束给出离焦信息，转换成电信号，并作为自动调焦控制单元的误差信号驱动清洗透镜移动进而进行调焦控制。本发明实施例提供的激光清洗的对焦方法及装置，通过利用与清洗激光的波长不同、且对激光清洗附属产物具备最大穿透率的对焦光束获取离焦信息，实现了离焦信息的可靠提取，具备高信噪比；利用得到的离焦信息进而进行调焦控制，可以使清洗激光在扫描清洗物体表面时的光斑焦点，始终位于物体表面，达到良好的清洗效果。

主权项

1.一种激光清洗的对焦方法，其特征在于，包括：利用具备第一波长的对焦光束对清洗激光的聚焦焦点与被清洗物体表面的距离进行测量给出离焦信息；其中，所述对焦光束的焦点与所述清洗激光的焦点在被清洗物体的表面具有相同位置，所述第一波长和所述清洗激光的波长不同，且所述对焦光束对激光清洗附属产物具备最大穿透率；将所述离焦信息通过光电传感器转换成电信号，并将所述电信号作为自动调焦控制单元的误差信号使自动调焦控制单元驱动清洗透镜移动进而进行调焦控制，实现对于激光清洗的自动调焦。