[发明专利]硅片分选机在审
申请号: | 201910575758.0 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110180798A | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 蒋旭 | 申请(专利权)人: | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;B07C5/38 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 闫晓欣 |
地址: | 224400 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种硅片分选机,包括:硅片传送装置;脏污检测工位,具有用以扫描硅片的脏污模组;以及控制系统,用以接收所述脏污模组的扫描信息,并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常;当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时,所述控制系统控制所述硅片传送装置停止运行。上述硅片分选机,控制系统可以通过脏污模组扫描硅片获得的信息,判断硅片是否存在碎片异常。当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时,则可判断有破碎的硅片落至脏污模组上。此时通过控制系统控制硅片传送装置停止运行,以方便操作人员对脏污模组进行清理,以避免因破碎的硅片导致后续具有脏污现象的硅片漏检,从而有效提高检测合格的硅片的良率。 | ||
搜索关键词: | 硅片 脏污 模组 控制系统 硅片传送 分选机 检测 扫描信息 装置停止 预设 破碎 扫描 方便操作 工位 良率 漏检 | ||
【主权项】:
1.一种硅片分选机,其特征在于,包括:硅片传送装置;脏污检测工位,具有用以扫描硅片的脏污模组;以及控制系统,用以接收所述脏污模组的扫描信息,并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常;当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时,所述控制系统控制所述硅片传送装置停止运行。
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