[发明专利]金属TCO叠层薄膜及其制备方法和HIT太阳能电池在审
| 申请号： | 201910576098.8 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112234106A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈孟杰 | 申请（专利权）人： | 成都珠峰永明科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/072;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 610200 四川省成都市自由贸易试验*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开提供一种金属TCO叠层薄膜，用于HIT太阳能电池，包括：TCO基底层，以及依次设置在TCO基底层上的非晶TCO浸润层、金属膜层和TCO面层；其中非晶TCO浸润层的厚度小于等于10nm，金属膜层的厚度大于等于1nm且小于等于30nm，金属TCO叠层薄膜的总厚度小于等于150nm，通过提供包括非晶TCO浸润层、使金属膜层的在较薄厚度情况下连续生长，降低了金属膜层的粗糙度，使TCO面层、金属膜层和非晶TCO浸润层之间由于高折射率对比导致表面等离子体激元高效耦合，形成表面等离子体产生共振效应，降低了TCO面层、非晶TCO浸润层和TCO基底层对光的散射和对光子的吸收，进而提高了金属TCO叠层薄膜的光谱透过率，提高了HIT电池的电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 tco 薄膜 及其 制备 方法 hit 太阳能电池 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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