[发明专利]用于极紫外光辐射源设备的极紫外光收集器反射镜及极紫外光辐射源设备有效
| 申请号： | 201910578340.5 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110658694B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 陈昱至;郑博中;陈立锐;简上傑;余昇刚;颜炜峻 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于极紫外光辐射源设备的极紫外光收集器反射镜及极紫外光辐射源设备。用于极紫外光(EUV)辐射源设备的EUV收集器反射镜包括：EUV收集器反射镜主体，其上设置反射层作为反射表面；加热器，附接到或嵌入EUV收集器反射镜主体；以及排泄结构，用于将熔化的金属从EUV收集器反射镜主体的反射表面排泄到EUV收集器反射镜主体的背侧。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 紫外光 辐射源 设备 收集 反射 | ||
【主权项】：
1.一种用于一极紫外光(EUV)辐射源设备的EUV收集器反射镜，其特征在于，包含：/n一EUV收集器反射镜主体，其上设置一反射层作为一反射表面；/n一加热器，附接到或嵌入该EUV收集器反射镜主体；以及/n一排泄结构，用于将熔化的金属从该EUV收集器反射镜主体的该反射表面排泄到该EUV收集器反射镜主体的一背侧。/n
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