[发明专利]一种吸附装置、方法、交接手、掩模传输系统及光刻设备有效
| 申请号： | 201910580186.5 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112147853B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 汤世炎;唐文力;张帅 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种吸附装置、方法、交接手、掩模传输系统及光刻设备，吸附装置包括：吸附单元，用于从工件台上吸附工件；自适应调节单元，连接所述吸附单元，自适应调节单元用于带动吸附单元沿Z向运动，以及自适应调节吸附单元的倾斜角度；压力检测单元，用于检测吸附装置对所述工件的压力；控制单元用于根据压力检测单元检测到的压力信息，控制自适应调节单元的Z向运动。本发明能够提高工件的吸附牢靠性，避免吸附不牢引起的交接精度问题和脱落问题，避免自适应调节单元对工件施压过大导致工件损坏的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 装置 方法 接手 传输 系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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