[发明专利]一种多晶硅棒的切割方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅棒的切割方法，所述方法为：在多晶硅方锭中央区域和边角区域选取方棒，测定所选取方棒的碳含量，并计算碳含量的平均值，以碳含量的平均值为依据，选取相对应的切割工艺对产自该多晶硅方锭的所有方棒。本发明开发出一种对多晶硅棒切割难易程度的全新评估手段，通过选取具有代表性的多晶方棒来评估硅锭整体的碳含量平均值，然后以此为基准，选择了与之一一对应的切割工艺，二者之间形成了相互配合关系，能够最大限度的提升多晶硅棒的切割质量稳定性。硅棒的切割良品率在96％以上，相对于现有工艺，其断线率、单片耗线量以及硅片TTV比例均明显降低，具有良好的经济效益和应用前景。