[发明专利]内衬组件及工艺腔室有效
申请号: | 201910586098.6 | 申请日: | 2019-07-01 |
公开(公告)号: | CN110289200B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 王文章;陈鹏;刘菲菲 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/67 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种内衬组件及工艺腔室,所述内衬组件包括:环形的内衬主体,所述内衬主体接地;环形挡板,与地电绝缘,且设置在所述内衬主体的内侧,并且能够沿所述内衬主体的轴向移动,以调节所述环形挡板的外周壁与所述内衬主体的内周壁的重叠面积。本发明提供的内衬组件,设有接地的内衬主体和设置在内衬主体内侧、与地电绝缘的环形挡板,并通过环形挡板沿内衬主体的轴向移动,实现环形挡板的外周壁与内衬主体的内周壁的重叠面积的调节,从而,将该内衬组件应用于采用等离子体进行预清洗、刻蚀的腔室时,根据等离子体理论,可实现离子能量在一定的范围内可调,在采用等离子体处理设备对晶圆进行处理时,可以降低对晶圆的等离子体诱导损伤。 | ||
搜索关键词: | 内衬 组件 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种内衬组件,其特征在于,所述内衬组件包括:环形的内衬主体,所述内衬主体接地;环形挡板,与地电绝缘,且设置在所述内衬主体的内侧,并且能够沿所述内衬主体的轴向移动,以调节所述环形挡板的外周壁与所述内衬主体的内周壁的重叠面积。
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