[发明专利]探针卡及探针台在审
| 申请号： | 201910586750.4 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110208672A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 张鸣帆;叶定文;汪海 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体测试技术领域，提供了一种探针卡，包括：电路板；多个探针，与电路板连接，探针包括至少一个第一探针和至少一个第二探针；偏移部，与多个探针耦合，响应于第一探针加载有或者将加载测量信号而第二探针未加载或者未将加载测量信号，偏移部能够移动第一探针和/或第二探针，以使第一探针的先端比第二探针的先端更加远离电路板的所在平面。本发明提供的探针卡能够使加载有或者将加载测量信号的探针移动至优先与焊垫接触的位置，进而在测量过程中，仅将加载有测量信号的探针扎进待测物的焊垫中，而避免其他未加载测量信号的探针发生损伤，有效提高了探针的使用效率，避免探针的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 加载测量 探针卡 电路板 偏移部 焊垫 半导体测试 电路板连接 测量过程 测量信号 使用效率 所在平面 台本发明 探针耦合 待测物 加载 移动 损伤 响应 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其特征在于，包括：电路板；多个探针，与所述电路板连接，所述探针包括至少一个第一探针和至少一个第二探针；偏移部，与多个所述探针耦合，响应于所述第一探针加载有或者将加载测量信号而所述第二探针未加载或者未将加载测量信号，所述偏移部能够移动所述第一探针和/或所述第二探针，以使所述第一探针的先端比所述第二探针的先端更加远离所述电路板的所在平面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910586750.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
