[发明专利]一种太阳电池硅片表面臭氧处理工艺及处理设备在审
| 申请号： | 201910587442.3 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110484971A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 王振交;艾凡凡;韩培育 | 申请（专利权）人： | 苏州中世太新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 32270 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 许益民<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215121 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种太阳电池硅片表面臭氧处理工艺，其包括步骤：将切割后的硅片放入碱液中进行粗抛，将经碱液处理后的硅片进行清水洗涤；将经过水洗后的硅片放入臭氧水中进行清洗；以及，S4、将经臭氧水清洗后的硅片进行表面制绒处理。本发明还提供所述的硅片表面臭氧处理工艺所用的处理设备。本发明的硅片表面臭氧处理工艺，通过在碱液处理工序与臭氧水清洗工序之间增加水洗工艺，去除残留碱液之后再进入臭氧水清洗工序，可有效防止由于碱液带入导致的臭氧水中臭氧浓度急剧降低的问题，从而可以确保臭氧水浓度稳定，确保臭氧水清洗工序的效果，利于后续的硅片制绒。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧水 硅片 臭氧处理 清洗工序 硅片表面 碱液处理 放入 碱液 臭氧 清洗 太阳电池硅片 表面制绒 残留碱液 处理设备 硅片制绒 浓度稳定 清水洗涤 水洗工艺 水中臭氧 粗抛 去除 水中 切割 | ||
【主权项】：
1.一种太阳电池硅片表面臭氧处理工艺，其特征在于，所述的处理工艺包括如下步骤：/nS1、将切割后的硅片放入碱液中进行粗抛，硅片表面损伤层与碱液反应生成可溶性硅酸盐；/nS2、将经碱液处理后的硅片进行清水洗涤；/nS3、将经过水洗后的硅片放入臭氧水中进行清洗；以及，/nS4、将经臭氧水清洗后的硅片移至制绒工序进行表面制绒处理。/n
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