[发明专利]采用金刚石划片机制备脊形光波导的方法在审
| 申请号： | 201910587600.5 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110133798A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王磊;陈峰 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用金刚石划片机制备脊形光波导的方法，属于光电子器件制备领域，包括：将平面光波导进行清洗；将刀片安装到金刚石划片机的刀架上；使用蓝膜粘结到平面光波导的背面，将平面光波导的粘结面固定安装到在真空吸附操作盘上；设置切割深度、进刀速度和刀片转速；使用金刚石划片机在平面光波导上表面划凹槽制备得到脊形光波导，脊形光波导的宽度为2～50μm，凹槽的深度为20～200μm，宽度为50～200μm；将脊形光波导从蓝膜或基底上取下，将垂直于脊型光波导的两个端面进行光学抛光。本发明能够制备出高性能、低损耗、微米量级且较好保持晶体非线性和光学增益特性的光波导，且不受掩膜线条的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 脊形光波导 金刚石划片 平面光波导 制备 蓝膜 光电子器件 脊型光波导 刀片安装 刀片转速 光学抛光 光学增益 微米量级 真空吸附 刀架 操作盘 低损耗 光波导 上表面 粘结面 基底 进刀 取下 掩膜 粘结 背面 切割 清洗 线条 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种采用金刚石划片机制备脊形光波导的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将平面光波导进行清洗；(2)将刀片安装到金刚石划片机的刀架上；(3)使用蓝膜粘结到平面光波导的背面，要求粘接后均匀无气泡，将粘结完的平面光波导的粘结面固定安装到在金刚石划片机的真空吸附操作盘上；(4)调整光波导的位置，根据波导要求设置切割深度、进刀速度和刀片转速；(5)使用金刚石划片机在平面光波导上表面划凹槽制备得到脊形光波导，脊形光波导的宽度X为2～50μm，凹槽的深度为20～200μm，宽度W为50～200μm；(6)将步骤(5)得到的脊形光波导从蓝膜或基底上取下，将垂直于脊型光波导的两个端面进行光学抛光。
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