[发明专利]一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910588438.9 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110284125A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 高敏;罗盛鲜;林媛;王旭;路畅;潘泰松 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜及其制备方法，属于薄膜材料制备技术领域。本发明二氧化钒复合薄膜为掺杂二氧化钒薄膜与未掺杂的二氧化钒薄膜交替生长而成，无需额外的添加层，层与层之间能够良好生长，得到较好的薄膜体系。同时，该体系利用掺杂二氧化钒薄膜层与未掺杂二氧化钒薄膜层相变温度的不同，在同一个温度下，可以实现薄膜金属态与绝缘态共存，二氧化钒在金属态与非金属态界面间的折射率大，在界面处来回多次反射，产生干涉相消，以降低反射，从而达到增透减反的目的，使得复合薄膜可以对可见光波段与近红外光波段的透射率进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化钒 复合薄膜 透射率 掺杂二氧化钒 可调的 未掺杂 制备 二氧化钒薄膜层 二氧化钒薄膜 近红外光波段 制备技术领域 可见光波段 薄膜材料 薄膜金属 薄膜体系 多次反射 交替生长 薄膜层 界面处 金属态 绝缘态 添加层 折射率 增透 反射 薄膜 干涉 生长 | ||
【主权项】：
1.一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜，其特征在于，包括掺杂二氧化钒薄膜和未掺杂二氧化钒薄膜，所述掺杂二氧化钒薄膜和未掺杂二氧化钒薄膜依次交替生长。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
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