[发明专利]一种基于Bex

摘要

本发明涉及一种基于BexZn1‑xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器及其制备方法，属于光电探测器技术领域。本发明的柔性深紫外光电探测器从下至上依次包括透明柔性衬底、有源层、一对平行金属电极，所述有源层为BexZn1‑xO非晶薄膜，其中：0＜x＜1，所述有源层的厚度为100～200nm。本发明通过将Be掺杂进入ZnO成功调高了BexZn1‑xO合金光学带隙，更重要的是实现了光电性能优良的非晶BexZn1‑xO合金薄膜在柔性衬底上的沉积，成功制备了能够探测波长小于280nm的深紫外辐射信号的柔性深紫外光电探测器，且本发明制得的器件满足可折叠、可穿戴、轻便和便携等要求。

主权项

1.一种基于Be_xZn_1‑xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器，其特征在于：所述探测器从下至上依次包括透明柔性衬底、有源层、一对平行金属电极，所述有源层为Be_xZn_1‑xO非晶薄膜，其中：0＜x＜1。