[发明专利]OPC建模装置及其形成方法、OPC建模方法有效
| 申请号： | 201910589741.0 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110286565B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 谢志峰 | 申请（专利权）人： | 芯盟科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及OPC建模装置及其形成方法、OPC建模方法，所述OPC建模装置包括：基片，包括相对的第一表面和第二表面；嵌于所述基片第一表面内的至少一个光学传感器件，所述光学传感器件的受光表面暴露于所述基片的第一表面。所述OPC建模装置能够提高OPC模型的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | opc 建模 装置 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种OPC建模装置，其特征在于，包括：基片，包括相对的第一表面和第二表面；嵌于所述基片第一表面内的至少一个光学传感器件，所述光学传感器件的受光表面暴露于所述基片的第一表面。
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