[发明专利]一种基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法

摘要

一种基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，可解决直写式光刻机拼板模式采用多片板子拼板曝光时，现有的翻版方式对位精度较低的技术问题。包括以下步骤：S100、设置两种形状不同的标识Mark，对位Mark‑A和序列号Mark‑B；S200、根据台面所能容纳光刻机拼板的最大数量N，确定Mark‑B的数量M；S300、设置Mark‑B的编码，将M个Mark B排列成不对称的形状；S400、使用CCD对Mark‑A和Mark‑B进行图像采集；S500、对于CCD采集到的一组Mark‑B，计算得到光刻机拼板对应的编号I并判断是左右翻板还是上下翻板；S600、对于CCD采集到的Mark‑A，确定镜像和形变；S700、根据识别到的对相应编号的光刻拼板图形进行矫正处理。本发明可以准确的对拼板图形进行变换和补偿，具备了防呆功能，同时提升了对位精度。

主权项

1.一种基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：在承载光刻机拼板的精密运动平台的台面上，设置卡槽；包括以下步骤：S100、设置两种形状不同的标识Mark，Mark‑A和Mark‑B；其中Mark‑A为对位Mark，Mark‑A设置在光刻机拼板板面的相邻两边，Mark‑B为板卡序列号Mark，Mark‑B设置在光刻机拼板板面的一边，所述Mark‑A和Mark‑B均设置在光刻机精密运动平台的台面卡槽里；S200、根据台面所能容纳光刻机拼板的最大数量N，确定Mark‑B的数量M；S300、设置Mark‑B的编码，将M个Mark B排列成不对称的形状；S400、使用CCD对Mark‑A和Mark‑B进行图像采集；S500、对于CCD采集到的一组Mark‑B，一方面根据所设定的这一组Mark‑B点的对应的编码规则，计算得到光刻机拼板对应的编号I；另一方面根据设定的不对称形状，判断是左右翻板还是上下翻板；S600、对于CCD采集到的Mark‑A，结合步骤500的翻板情况，确定镜像和形变；S700、根据步骤S500识别到的光刻机拼板对应编号I，对相应编号的光刻拼板图形进行矫正处理。