[发明专利]一种微纳颗粒沉积装置

摘要

本发明涉及新材料研发领域，一种微纳颗粒沉积装置，包括注射泵、输液管、盖玻片、保护层、微流体层、悬浮液桥、衬底、位移台和显微镜，微流体层包括微孔径、微通道组、主通道和进液口，采用微流体结构并基于毛细管作用，装置通过在微孔径与可移动衬底之间形成包含待沉积微粒的悬浮液桥来进行微粒自组装，并采用特殊设计的微流体结构来供给悬浮液，在组装过程中能够连续补充悬浮液并调节其悬浮微粒的组成成分，装置在微粒自组装过程中能够调节其悬浮微粒的组成成分并连续补充悬浮液，操作简便，成本低廉。

主权项

1.一种微纳颗粒沉积装置，包括注射泵(1)、输液管(2)、盖玻片(3)、保护层(4)、微流体层(5)、悬浮液桥(6)、衬底(7)、位移台(8)和显微镜(9)，微流体层(5)包括微孔径(5‑1)、微通道组(5‑2)、主通道(5‑3)和进液口(5‑4)，xyz为三维坐标系，衬底(7)位于位移台(8)上，位移台(8)透光且能够三维移动，其特征是：微流体层(5)上面覆盖有硅氧烷材料制成的厚度为2毫米的保护层(4)，保护层(4)的上面通过环氧树脂固定有盖玻片(3)，显微镜(9)位于位移台(8)下方的15厘米处，用于监测微孔径(5‑1)与衬底(7)之间的悬浮液；衬底(7)表面具有微纳阵列(7‑1)；微流体层(5)由SU‑8树脂材料片通过微加工技术制成，进液口(5‑4)、主通道(5‑3)、微通道组(5‑2)和微孔径(5‑1)依次连通，进液口(5‑4)通过输液管(2)连接至注射泵(1)，注射泵(1)将包含待沉积微粒的悬浮液依次通过输液管(2)、进液口(5‑4)、主通道(5‑3)和微通道组(5‑2)，传输至微孔径(5‑1)，微孔径(5‑1)贯通微流体层(5)的上表面和下表面，微通道组(5‑2)由三根截面均为长方形的微流体槽组成，主通道(5‑3)是一根截面为长方形的微流体凹槽；衬底(7)位于微孔径(5‑1)下方0.4毫米时，悬浮液能够从微孔径(5‑1)滴下并在微流体层(5)与衬底(7)之间形成悬浮液桥(6)。