[发明专利]一种金属氮化物合成设备在审
申请号: | 201910592992.4 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN110285672A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 杜文贵;秦军 | 申请(专利权)人: | 宁夏秦氏新材料有限公司 |
主分类号: | F27B14/04 | 分类号: | F27B14/04;F27B14/08;F27B14/14;F27B14/12 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 马莉 |
地址: | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种金属氮化物合成设备,其中包括:坩埚,其内部配置为进行金属氮化物合成,包括椭球形的底部,空心圆柱直段和法兰盘,三者之间通过焊接连接;上盖,该上盖和坩埚法兰盘通过螺栓联接,所述上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔;炉壳,包裹所述坩埚,坩埚与炉壳之间存在一间隔空间,所述炉壳的内壁上设置有保温层和耐火层,保温层位于炉壳内壁和耐火层之间。本发明的金属氮化物合成设备通过设置坩埚和特定功能的上盖,满足金属氮化物合成工艺要求。 | ||
搜索关键词: | 金属氮化物 坩埚 上盖 合成设备 炉壳 保温层 法兰盘 耐火层 氮气 抽真空孔 焊接连接 合成工艺 间隔空间 空心圆柱 炉壳内壁 螺栓联接 供气孔 椭球形 内壁 直段 合成 配置 | ||
【主权项】:
1.一种金属氮化物合成设备,其中包括:坩埚,其内部配置为进行金属氮化物合成,包括椭球形的底部,空心圆柱直段和法兰盘,三者之间通过焊接连接;上盖,该上盖和坩埚法兰盘通过螺栓联接,所述上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔;炉壳,包裹所述坩埚,坩埚与炉壳之间存在一间隔空间,所述炉壳的内壁上设置有保温层和耐火层,保温层位于炉壳内壁和耐火层之间。
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