[发明专利]一种双面集成的单片体声波双工器在审
| 申请号： | 201910595492.6 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110277977A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 谢英;孙成亮;徐沁文;蔡耀;邹杨 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/70 | 分类号： | H03H9/70 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面集成的单片体声波双工器，包括相互连接的发射带通滤波器、接收带通滤波器和阻抗匹配电路；其中：该单片体声波双工器中间设置有一个衬底，衬底上下两面均刻蚀有凹槽状的空腔；发射带通滤波器和接收带通滤波器分别沉积在衬底的上下两面。本发明专利提出的结构工艺可以将发射带通滤波器和接收滤波器集成在同一衬底的上下两个面上，从而将体声波双工器集成在同一片衬底上，因此可以有效地减小双工器的面积和体积，从而减少双工器制作的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 发射带通滤波器 声波双工器 单片体 双工器 接收带通滤波器 阻抗匹配电路 接收滤波器 结构工艺 中间设置 凹槽状 面积和 体声波 有效地 沉积 减小 刻蚀 空腔 制作 | ||
【主权项】：
1.一种双面集成的单片体声波双工器，其特征在于，包括相互连接的发射带通滤波器(TX)、接收带通滤波器(RX)和阻抗匹配电路；其中：该单片体声波双工器中间设置有一个衬底(201)，衬底(201)上下两面均刻蚀有凹槽状的空腔；发射带通滤波器(TX)和接收带通滤波器(RX)均包括多层电路元件，各层的电路元件依次进行沉积，使得发射带通滤波器(TX)和接收带通滤波器(RX)分别沉积在衬底(201)的上下两面。
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